1. Laddar
Placera den belagda kvartsdegeln på värmeväxlingsbordet, tillsätt kiselråmaterial, installera sedan värmeutrustning, isoleringsutrustning och ugnslock, evakuera ugnen för att minska trycket i ugnen till 0,05-0,1 mbar och bibehåll vakuum. Inför argon som en skyddsgas för att hålla trycket i ugnen i princip på cirka 400-600 mbar.
2. Uppvärmning
Använd en grafitvärmare för att värma ugnskroppen, förånga först fukten som adsorberas på ytan av grafitdelar, isoleringsskikt, kiselråmaterial etc. och värm sedan långsamt upp för att få temperaturen på kvartsdegeln att nå cirka 1200-1300℃. Denna process tar 4-5 timmar.
3. Smältning
Inför argon som en skyddsgas för att hålla trycket i ugnen i princip på cirka 400-600 mbar. Öka gradvis värmeeffekten för att anpassa temperaturen i degeln till ca 1500 grader℃, och kiselråvaran börjar smälta. Behåll cirka 1500℃under smältningsprocessen tills smältningen är avslutad. Denna process tar cirka 20-22 timmar.
4. Kristalltillväxt
Efter att kiselråvaran smält, reduceras värmeeffekten för att få degelns temperatur att sjunka till ca 1420-1440℃, vilket är smältpunkten för kisel. Sedan rör sig kvartsdegeln gradvis nedåt, eller isoleringsanordningen stiger gradvis, så att kvartsdegeln långsamt lämnar värmezonen och bildar värmeväxling med omgivningen; samtidigt leds vatten genom kylplattan för att sänka smältans temperatur från botten, och kristallint kisel bildas först i botten. Under tillväxtprocessen förblir gränssnittet fast-vätska alltid parallellt med horisontalplanet tills kristalltillväxten är fullbordad. Denna process tar cirka 20-22 timmar.
5. Glödgning
Efter att kristalltillväxten är avslutad, på grund av den stora temperaturgradienten mellan botten och toppen av kristallen, kan termisk stress förekomma i götet, vilket är lätt att bryta igen under uppvärmningen av kiselskivan och förberedelsen av batteriet . Därför, efter att kristalltillväxten är fullbordad, hålls kiselgötet nära smältpunkten i 2-4 timmar för att göra temperaturen på kiselgötet enhetlig och minska termisk stress.
6. Kylning
Efter att kiselgötet har glödgats i ugnen, stäng av värmeeffekten, höj värmeisoleringsanordningen eller sänk kiselgötet helt och inför ett stort flöde av argongas i ugnen för att gradvis minska temperaturen på kiselgötet till nära rumstemperatur; samtidigt stiger gastrycket i ugnen gradvis tills det når atmosfärstryck. Denna process tar cirka 10 timmar.
Posttid: 2024-09-20
